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ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀 ZeGage Pro 可直接用于生產(chǎn)的三維光學(xué)輪廓儀系統(tǒng)。 ZeGage™ Pro和 ZeGage™ Pro HR 三維光學(xué)輪廓儀可對(duì)多種類型表面的微米和納米級(jí)特征進(jìn)行非接觸式測(cè)量和表征，實(shí)現(xiàn)制造環(huán)境中的質(zhì)量控制和過(guò)程監(jiān)控。

ZYGO 光學(xué)輪廓儀 NewView 9000 提供了強(qiáng)大、多功能的非接觸式光學(xué)表面分析。它可以簡(jiǎn)單和快速地測(cè)量各種表面類型，包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表面。所有的測(cè)量都是無(wú)損、快速、無(wú)需樣品制備的。

ZYGO光學(xué)輪廓儀 Nexview NX2 是為更高應(yīng)用需求設(shè)計(jì)的，集超精密、先進(jìn)算法、應(yīng)用靈活性和自動(dòng)化為一體，優(yōu)異展現(xiàn)了ZYGO相干掃描干涉(CSI)技術(shù)的能力。 采用的是非接觸式測(cè)量技術(shù)，具有亞納米測(cè)量精度（所有放大倍數(shù)下），可以更快更好地測(cè)量各種樣品表面，是一款具有非常高投資回報(bào)率的產(chǎn)品

經(jīng)濟(jì)型三維共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx 是一款專為工業(yè)和研究所設(shè)計(jì)的全新非接觸式3D光學(xué)輪廓儀。它設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔、用途多樣。Slynx能夠測(cè)量不同的材質(zhì)，結(jié)構(gòu)，表面粗糙度和波度，幾乎涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的形貌測(cè)量應(yīng)用。Sensofar的核心是將3種測(cè)量方式融于一體，確保了其的性能。配合SensoSCAN軟件系統(tǒng)，用戶將獲得難以置信的直觀操作體驗(yàn)。

大視野3D光學(xué)輪廓儀S wide軟件通過(guò)清晰、直觀且用戶友好的界面驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。用戶將被引導(dǎo)瀏覽3D環(huán)境，獲得的用戶體驗(yàn)。自動(dòng)化程序模塊自動(dòng)測(cè)量模塊讓客戶更容易地實(shí)現(xiàn)自定義編程，完成質(zhì)量管理和檢測(cè)的目標(biāo)。手動(dòng)設(shè)定測(cè)量點(diǎn)坐標(biāo)或?qū)胱鴺?biāo)文件，為每個(gè)坐標(biāo)或批量設(shè)定量測(cè)程序，再設(shè)定自動(dòng)影像識(shí)別對(duì)位點(diǎn)，最后定義公差范圍及報(bào)告輸出格式就完成了所有的編程工作。

Sensofar多功能3D光學(xué)輪廓儀Slynx2，是一款多功能、多用途的3D光學(xué)輪廓儀，用于粗糙度、體積和臨界尺寸測(cè)量。光學(xué)輪廓儀S lynx2，是將高清晰度共聚焦顯微鏡、納米級(jí)白光干涉儀和多焦面疊加三維顯示技術(shù)融合在一臺(tái)儀器中。因此具有這三種產(chǎn)品的*性：即具備高橫向分辨率的共聚焦影像效果、也具備白光干涉儀的納米級(jí)的垂直分辨率、具備多焦面疊加高達(dá)86度的傾斜角度觀察能力。